原理不同: 直读火花光谱仪是用电弧(火花)的高温使样品中各种元素从固态直接气化并被激发而射出各元素的特征波长,用光栅分光后,成为按波长排列的“光谱”,用光电倍增管CCD检测器使光信号变成电信号,得到光的强度和元素含量的数学关系,最终得到结果。 X荧光光谱仪是用X射线照射试样时,试样可以被激发出各种波长的荧光X射线,需要把混合的X射线按波长(或能量)分开,分别测量不同波长(或能量)的X射线的强度,以进行定性和定量分析,分别有波长色散型和能量色散型X荧光光谱仪。
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